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3D皮秒激光微加工系統

3D皮秒微加工由皮秒激光光源、動態聚焦模塊等組成,能實現一定范圍內的快速動態打標、雕刻和微切割。適用于有潔凈需求的超精細打標、切割等高端應用。
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3D皮秒激光微加工系統由皮秒激光光源、動態聚焦模塊、二維掃描系統、外圍輔助真空室和精密控制系統組成,具有激光峰值功率高、掃描速度快的特點,能實現一定范圍內的快速動態打標、雕刻和微切割,配套真空室保證了干凈的加工環境,適用于有潔凈需求的超精細打標、切割等高端應用。

產品特點:

  • MW級激光峰值功率
  • 7/24高效穩定工作
  • ±32mm的大范圍軸動態調焦
  • 高達10.0m/s的定位速度
  • RTC5穩定控制

主要技術參數:

激光器
平均功率 10W
波長 1064nm
脈沖寬度 <10ps
重復頻率 100kHz-1000kHz
光束指向性 <50μrad
光斑直徑 ≤2mm
光斑發散角 ≤3mrad
脈沖穩定性 ≤2%rms
長期穩定性 ≤3%
工作溫度 18-35℃
冷卻方式 水冷
偏振比 水平, >100:1
動態聚焦系統
像場尺寸 (110x110) mm2
聚焦范圍 ±32mm
聚焦光斑尺寸 <35 μm
掃描系統
波長 1064nm
最大激光功率 150W @1064nm
典型掃描范圍 110*110mm
典型光斑直徑 32μm
打標速度 2.0m/s
定位速度 10.0m/s
供電 ±15V DC,max 2A
尺寸 (114x96.5x94) mm
重量  1.9 kg

行業應用:

  1. 精密打標
  2. 玻璃、藍寶石、平板顯示器等脆性材料加工
  3. 心血管支架加工
  4. 半導體與光伏行業
  5. 3D制造/雕刻
  6. 柔性電路板打標

針對不同的應用和用戶需求,我們可以選配532/355nm等不同波長的激光器,脈沖寬度從飛秒/皮秒到納秒,激光功率從4W~100W。請致電我們為您量身定做3D激光微加工系統。

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